“高端化学品及集成电路用电子化学品制造关键技术研究与应用”通过科技成果鉴定

发布者:王雨晴发布时间:2025-04-29浏览次数:10

   415日,中国石油和化学工业联合会组织专家在北京召开了由我校李群生教授主持完成的“高端化学品及集成电路用电子化学品制造关键技术研究与应用”科技成果鉴定会,北京化工大学副校长任钟旗、中国石化联科技与装备部主任李永亮出席本次鉴定会并讲话,鉴定会由中国石化联科技与装备部副处长曾春阳主持。


鉴定会现场

   北京化工大学李群生教授按照鉴定会要求对项目情况进行了详细的汇报。与会专家认真听取了项目报告,审阅了技术资料,并就相关问题进行了质询。该项目取得了一系列重大创新成果:建立了精馏塔内气液两相流的数学模型,研发了IP型高效填料和导向复合塔板,填料分离效率提高了37.5%~50%,塔板分离效率达到75%~85%;发明了反应除杂技术,利用紫外线光源将四氯化硅中极少量的三氯氢硅反99.9999999%(9N);开发了等离子反应合成技术,实现乙硅烷的定向合成,得到99.99999%(7N)乙硅烷。同时,该项目发明了精馏—连续多级逆流分布结晶技术,应用于对二氯苯-邻二氯苯等分离,产品纯度≥99.999%;优化了双载体吸附系统,与精馏及其他分离技术耦合,实现对杂质的深度脱除,生产出99.999999%(8N)四氯硅烷;开发了高效抗杂质渗入技术,实现了电子化学品生产设备的超洁净防护。其中,电子级氢氟酸单个金属离子杂质含量降至5ppt以下,突破G5标准要求。

   经鉴定委员会认真讨论,一致认为:该成果核心技术处于国际领先水平,同意通过鉴定,建议进一步推广应用。

   李群生团队目前已取得获授权的多项国内外发明专利,具有自主知识产权。在产业化应用领域,该项目成果已在多家企业获得广泛应用,并生产出百余种产品,取得了显著的经济效益、社会效益和生态效益。



鉴定会合影




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